Добро пожаловать на Форум по станкам с ЧПУ!

Напыление диоксида кремния электронно-лучевой пушкой.

Тема в разделе "Расходные материалы, запчасти, документация", создана пользователем Vitalo, 14 мар 2020.

  1. Vitalo

    Vitalo

    Регистрация:
    5 сен 2012
    Сообщения:
    0
    Симпатии:
    0
    Добрый день!
    Подскажите, может кто сталкивался с напылением SiO2 пушкой?
    Опыт напыления магнетроном есть, возник вопрос с пушкой.
     
  2. myCNC

    myCNC

    Регистрация:
    15 апр 2012
    Сообщения:
    180
    Симпатии:
    0
    А что сложного то? Магнетроном КВАРЦ? ( РФ , что ли? или ионным источником с кремнивай мишени?) С пушки пылится влет. не гнать тока, а то тигель пропалишь.
     
  3. Малючок

    Малючок

    Регистрация:
    1 окт 2012
    Сообщения:
    156
    Симпатии:
    0
    кварц (обломки кварцевого стекла) измельчить до состояния частиц, как у крупной соли
     
  4. Vitalo

    Vitalo

    Регистрация:
    5 сен 2012
    Сообщения:
    0
    Симпатии:
    0
    Интересуют нюансы напыления, пылить с тигля или без, если с тигля, то какого? Либо просто загружать навеску SiO2 без использования тигля.
    Распыление мишени кремния с добавлением кислорода.
     
     
  5. Малючок

    Малючок

    Регистрация:
    1 окт 2012
    Сообщения:
    156
    Симпатии:
    0
    Водоохлаждаемый медныйтигель.
     
  6. Никовдим

    Никовдим

    Регистрация:
    1 окт 2012
    Сообщения:
    23
    Симпатии:
    0
    Vitalo ,
    Электронным лучом на небольшом напряжении. Разогревать потихоньку. Выйдя "на режим", включить сканирование. Кварц расплавить не получится.
     
  7. james345

    james345

    Регистрация:
    21 янв 2013
    Сообщения:
    33
    Симпатии:
    0
    Vitalo , Я пылю, сегодня вот тоже...
    Насыпается в тигель и греется потихоньку...
    У мну режим: 6 кВ, и + - 30мА, скорость 4 /сек.
    Ток по скорости.
     
  8. Vitalo

    Vitalo

    Регистрация:
    5 сен 2012
    Сообщения:
    0
    Симпатии:
    0
    james345 , какой тигель используете?
     
  9. Никовдим

    Никовдим

    Регистрация:
    1 окт 2012
    Сообщения:
    23
    Симпатии:
    0
    Vitalo ,
    Да вроде любой можно? С водяным охлаждением, естественно.
     
  10. N_alex

    N_alex

    Регистрация:
    25 апр 2012
    Сообщения:
    398
    Симпатии:
    0
    Vitalo ,кварц пылят напрямую из медного водоохлаждаемого тигля, как правило засыпая тигель полностью кварцевой крошкой.
    Размер крошки на ваше усмотрение, но как правило 3-5 мм, можно, как тут отмечали, и поколоть кварцевое стекло.
    Обычно распыляют следующим образом: включают вращение тигля и сканирование луча, чтобы выработка кварца была равномерной.
    Мощностью луча (ток, напряжение), скоростью вращения тигля и сканированием добиваются требуемой скорости роста покрытия и, отчасти, распределения вещества. Скорость роста покрытия от 2 /сек.
    Не работайте на больших токах (более 100мА), иначе кварц начнёт стрелять или хуже того, возможно отклонение электронного луча - прожжёте камеру... ну не камеру, но экран точно.
    Желательно наличие ионного ассистирования и подача небольшого количества кислорода, но и без них можно обойтись, но тогда будут проблемы с попаданием по длине волны, если пылите оптику.
    Также возможно распыление кварцаиз небольших таблеток (спрессованный кварцевый порошок) с использованием молибденовых вкладышей в многотигельных пушках.
     
  11. alexey_nl

    alexey_nl

    Регистрация:
    16 апр 2021
    Сообщения:
    1
    Симпатии:
    0
    Добрый день!
    Тоже пытаюсь напылить кварц марки КВ электронным лучом. Само распыление происходит, режим (как и писал Vitalo) 6-7 кВ при токе эмиссии 30 мА. При 40 мА кварц уже плавится и процесс идёт слишком интенсивно. Вопрос в следующем - напыляю на обычное стекло и алюминий, но адгезия в обоих случаях очень плохая - покрытие SiO2 сворачивается в хлопья и отслаивается от подложки. В чем может быть причина?