Добро пожаловать на Форум по станкам с ЧПУ!

Напыление резистивного слоя.

Тема в разделе "Книги, журналы, видео.", создана пользователем rusya2085, 13 мар 2020.

  1. rusya2085

    rusya2085

    Регистрация:
    5 май 2012
    Сообщения:
    72
    Симпатии:
    0
    Добрый день.
     
    На работе столкнулись с такой проблемой . После термостабилизации резистивного слоя на ситаловой подложке сильно( больше 20%)увеличивается поверхностноесопротивление напыленного материала.
    Резистивный материал наноситься магнетроном.
     
    Какие вообще могут происходить процессы притермостабилизации , чтосильно ( больше 20%) увеличивается поверхностноесопротивление?
     
    Если нужны какие нибудь ещё моменты по техн. процессу и параметрам установки( вакуум, температура и т.д.) задавайте.
     
    Термостабилизация проводиться не в вакуумной печи.
     
  2. Никовдим

    Никовдим

    Регистрация:
    1 окт 2012
    Сообщения:
    23
    Симпатии:
    0
    Какие режимы термостабилизации?
    При какой температуре напыляли резистивный слой?
    На какой установке?
    Какой РС, и какой омности напыляли?
    Получив ответы, смогу дать рекомендации.
     
  3. rusya2085

    rusya2085

    Регистрация:
    5 май 2012
    Сообщения:
    72
    Симпатии:
    0
    1)3 часа при температуре 350 градусов
    2) Резистивный слой напыляется при температуре 280 градусов.
    3) Установкатипа УВН 71( TIP71ES если точно)
    4) Используется высокоомная мишень, конкретнее сказать сейчас не могу.
     
  4. Никовдим

    Никовдим

    Регистрация:
    1 окт 2012
    Сообщения:
    23
    Симпатии:
    0
    Важно знать тип мишени и режимы напыления.
    Сколько по времени напыляется слой?
    Какой свидетель и на какое сопротивление напыляется. Делаете ли напуск на горячую загрузку?
    Как ведет себя сопротивление свидетеля при напуске атмосферы?
     
  5. rusya2085

    rusya2085

    Регистрация:
    5 май 2012
    Сообщения:
    72
    Симпатии:
    0
    Подробнееуточню только завтра.
     
    Напуск на горячую загрузку - этоприкакой температуре происходит напуск атмосферы на детали ?
     
  6. Никовдим

    Никовдим

    Регистрация:
    1 окт 2012
    Сообщения:
    23
    Симпатии:
    0
    Да, это так. Еще режим напыления ( ток, напряжение, давление), как производится очистка, на каком газе и в каком режиме.
     
  7. rusya2085

    rusya2085

    Регистрация:
    5 май 2012
    Сообщения:
    72
    Симпатии:
    0
    Новая вводная:
    1) Если вы говорите про ионную очистку, то на установке не установлен источник ионов. Про очистку деталей до загрузки ( промывка ) то про неё точно не скажу , но пробовали по разному промывать ну и в принципе технология промывки не менялась.
    2) Про тип мишени сейчас сказать не могу, но режим работы U=400 В ,I = 0,5 А .При этомвремя напыления до нужного сопротивления( примерно 32 кОм ) составляет минуты две.
    3) Размеры свидетеля сказать не могу, но соответсвенно он тоже ситаловый. Когда свидетель ставил на термостабилизацию на 3 часа и замерял опять сопротивление увеличивалосьпримерно до 46кОм.
    4) При напуске атмосферного давления в камеру при температуре 70 градусовсопротивление в принципе не изменялось +- 0,05 кОм .
    5) Давлениебез аргонапримерно5,6 * 10в минус 4 степениБар.Принапуске аргона1,8 - 1,5 минус 1 степень.
     
     
    P.S.Проблема ещё в том что после последнего удачного напыления, на ней не пылили пол года, а может быть и ещё больше. Но мишень отжигают ужа наверное недели полторы.
     
  8. Никовдим

    Никовдим

    Регистрация:
    1 окт 2012
    Сообщения:
    23
    Симпатии:
    0
    Да, только не Бар, а Ра (т.е. Паскалей). Ионные источники в этих типах машин стояли. Его видимо сняли почему-то. За столько лет мог прийти в негодность, а починить было негде.
    Ваша проблема в том, что вы напыляете очень тонкий слой. Он у вас весь насквозь начинает окисляться при термостабилизации, поэтому номинал вверх и уползает. Это случается, если пылить на резисторы не тот материал. Толщина нормального резистора, стабильного во времени, не должна быть меньше 0.1 мкм.
    А вы похоже пылите высокоомные резисторы из РС 3710, на которой и 1 кОм на квадрат-проблема.
    Пришлите фото внутрикамерного и стойки, если "опознаю" установку, смогу подсказать методы лечения. И из 3710 можно пылить высокоомные резисторы, но они в плавиковке травиться не будут,и ТКС будет большой. Зато стабильность -ого-го. Есть комплексное решение для такой технологии, но надо понять, все ли есть в установке для этого.
     
  9. dcms

    dcms

    Регистрация:
    1 апр 2012
    Сообщения:
    59
    Симпатии:
    0
    Александр, я так понял что до этого на этой установке пылили с той же мишени, на те же подложки и на тех же режимах и было все ОК. Потом через пол года - ничего не получается?
     
    А с РС3710 1 кОм/кв не получишь. Для этого 10 нм напылять надо или меньше.
     
    Судя по режимам (0.5 А 2 мин) напыляется нанометров 30-40 максимум. Это не резистор. Это островковая пленка, которая будет показывать что попало. А после отжига она может и вообще прореагировать с воздухом
     
  10. dcms

    dcms

    Регистрация:
    1 апр 2012
    Сообщения:
    59
    Симпатии:
    0
    (5,6 * 10 в минус 4 степени Бар.)? Это наверное мБар и если x100 = Па?
     
  11. Никовдим

    Никовдим

    Регистрация:
    1 окт 2012
    Сообщения:
    23
    Симпатии:
    0
    Дмитрий, эту установку я делал, у них ВМБ 14 стоит и , естественно, в паскалях показывает.
     
  12. Никовдим

    Никовдим

    Регистрация:
    1 окт 2012
    Сообщения:
    23
    Симпатии:
    0
    Ну, похоже, у Александра пропал интерес к теме. А почему было хорошо раньше, а сейчас плохо, то думаю, всякие хитрости технологии люди за это время забыли, старые ушли, новые пришли, а всякие нюансы и тонкости, которые на "рукопашных" установках составляют суть технологии ( пресловутый анекдот об украденныхчертежах, к которым забыли украсть извещения об изменениях), в бумагах не отражены. Ну например, такой прием. Принапылении резисторов воздух в установку напускается "на горячую", т.е. на максимальной температуре, номинал контролируется по свидетелю. Потом установка снова откачивается, и допыляется до нужного номинала. Или процесс напыления идет с добавлением азота, тогда удельное сопротивление пленки становится выше в десятки раз, и стойкость к окислению вырастает до бесконечности. При этом расход азота в процессе меняется специальным образом.
     
  13. Ольга Тищенко

    Ольга Тищенко

    Регистрация:
    5 май 2020
    Сообщения:
    2
    Симпатии:
    0
     
  14. Ольга Тищенко

    Ольга Тищенко

    Регистрация:
    5 май 2020
    Сообщения:
    2
    Симпатии:
    0
    Добрый день!

    Прошу Вас подсказать ответы на мои вопросы, если Вас не затруднит, или посоветовать литературу: патенты, книги, методические указания и так далее!

    Вопросы:

    1. используете ли вы кермет К50-С для напыления тонких пленок на поликоровые подложки ПК-1?

    2. Пылим с удельным сопротивлением от 500Ом до 10000Ом, с отжигом на этапе ФЛГ при 150°С в атмосфере. При отжиге сопротивление несколько минут снижается, а затем резко возрастает, не достигая нужного значения. Кто-нибудь сталкивался с такой проблемой? Какие решения?

    Готова ответить на все вопросы и дополнить необходимой информацией!!

    Огромное спасибо, что прочитали, надеюсь Вы мне поможите!